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斯坦利開發出超小型投影機用鏡片
斯坦利開發出超小型投影機用鏡片
中國投影網資訊 [2007-1-30 8:10:52] 編輯:映君
斯坦利電氣利用全新結構的致動器開發出了可供超小型投影機使用的鏡片元件，并在“MEMS2007”國際會議進行了技術發表(演講序號為M35)。超小型投影機的目標用途是手機，利用微鏡片掃描彩色激光，將圖像投影到了墻壁等表面上。
該公司此次利用壓電元件開發出了在垂直和水平雙軸方向掃描激光的微鏡片致動器。通過采用新開發的特殊結構，即使可得到較大的驅動力，也能產生變異較小的大壓電驅動位移。
一般來講，基于單芯片的雙軸掃描，與垂直方向相比，水平方向的驅動頻率要大得多，因此很難利用共振頻率驅動雙軸。因此該公司決定利用非共振頻率進行垂直方向的驅動。采用非共振驅動時，需要較大的驅動力，因此該公司采用了基于PZT的壓電驅動方式。不過，這種驅動方式存在無法產生大位移的缺點，此次通過采用新結構決定了這一問題。
所采用的新結構就是將致動器設計成蛇行形狀(參見圖)。這種結構有多個驅動部分，各驅動部分的位移積累起來以后，整體上就能得到大位移。
為了實現壓電驅動，需要有能夠均勻形成結晶的PZT膜工藝，而該公司早已開發出了這項技術，名為“ADRIP(arc discharged reactive ion plating)”。在500℃的非超高溫度條件下能夠以3μm/小時的速度進行成膜。
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文章來源:中國投影網
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